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精密直線電機平臺

直線電機1.png

應用領域

精密直線電機平臺基于精度高，速度快，高響應的特點，在面板與半導 體加工領域，如精密測量測試設備、激光加工設備、3C高精度自動化設 備等領域廣泛應用

優勢

  • 直線電機驅動，帶全閉環光柵反饋，

    誤差更小，精度更高

  • 可實現高速度，高加速度，

    高響應性

  • 采用陶瓷、碳纖維、大理石等材質制

    作，重量輕，熱膨脹系數更低

  • 穩定性好，壽命長

    可根據客戶需求定制

歡迎來電咨詢

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