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設備型號:GV-N5232C
應用范圍:用于帶Low-K材料或金屬鍍層的晶圓,在晶圓表層開槽,以便于后續切割。
設備咨詢
主要特點:
設備特點:
1、采用超短脈寬激光加工,有效提升開槽效果
2、整合多種激光微加工技術,切割效率和工藝窗口兼備
3、采用復合多光路加工模組,多種切割功能任意組合切換
4、具備自動上下料功能,無人值守全自動運行,批量化生產
5、高精度視覺檢測系統,保障劃痕位置
主要參數:
加工效果:
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