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Micro LED激光巨量轉移設備

應用范圍：Micro LED巨量轉移設備是通過精確定位系統來實現芯片巨量轉移，可用于將玻璃暫態基板芯片精確轉移至下層基板，也可延伸用于Mini LED巨量轉移系統中



主要特點：

1、轉移效果良好，轉移過程對芯片無損傷

2、擁有高精度對位系統， Micro LED轉移落點精準，位置精度達到±1μm

3、轉移效率可達2kk/h-100kk/h



主要參數:


主要參數兼容種類Carrier：圓片4 Inch、 6 Inch帶平邊
Substrate≤470*350
對位精度可精確對位，對位誤差≤1μm，對位角度誤差≤ 6arcsec
轉移良率轉移良率可達99.99%
轉移效率轉移效率可達2kk/h-100kk/h


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