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新型晶圓切割技術專題 | DA100-A7 PRO設備成功通過技術驗證

在半導體制造的前沿領域,大族半導體憑借深厚的研發實力和堅持不懈的創新精神,始終致力于激光切割應用方案的深入探索。近日,我司自主研發的DA100-A7 PRO設備成功通過客戶技術驗證并具備量產能力。這款設備突破了傳統半導體制造技術的局限,更是在SiC襯底的切割方面展現出了卓越的性能,完美契合了半導體制程中的多元化需求,一經推出便引起了業界的廣泛關注。

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型號:DA100-A7 PRO


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第三代半導體SiC晶圓激光表面燒蝕切割,應用于射頻器件、功率器件(有功率二極管、功率三極管、晶閘管、MOSFET、IGBT)、新能源汽車、光伏發電、智能電網、軌道交通、射頻通信等領域。


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? 全新軟硬件架構,無機差,加工參數一致,品質有保障;

? 更簡潔的分離制程(少一個制程且無需倒膜),可應對200μm厚度以下;

? 下CCD分辨率<1μm,業內最高;尺寸精度更有保障;

? 8寸以下產品兼容,無需更換升級;

? 自研多光路系統,可切換不同光路到達高效加工;

? 全自動上下料,無人值守全自動運行;

? 具備自動涂膠、清洗功能。


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主要參數.png


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切割方案對比.png


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加工效果+水印.png

大族半導體DA100-A7 PRO設備成功通過客戶技術驗證,不僅是深厚技術實力的完美展現,更是對市場趨勢的精準把握和行業未來發展的深刻洞察。展望未來,大族半導體將持續堅定加大研發投入,致力于推出更多創新且性能卓越的產品,為半導體制造行業的蓬勃發展貢獻更多力量。


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