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去膠剝離機

設備型號：LF12-XS3MRS1A

應用范圍：化合物半導體、功率器件、MEMS、先進封裝、射頻集成電路、MircoLED，光學玻璃




主要特點：

設備特點：

1、槽式浸泡與單片旋轉噴淋方式相結合，提高產能

2、高壓或二流體噴淋可徹底除去光刻膠

3、基片干進濕傳干出

4、去膠液回收、循環過濾再使用，降低用戶成本

5、貴重金屬回收





主要參數:


主要參數

片盒數量

2CS&2LP

配置

1Soak+1Stripper+1cleaning

wafer 類型

圓片，方片

wafer 尺寸（mm）50-300
產能（WPH）40
化學藥液

NMP、DMSO

襯底材料Si、Glass、Sapphire、GaN、GaAs、SiC、LiTaO3、Li3PO4
適用工藝Lift-off、stripper
干燥模式Spin Dry+N2 Dry



歡迎來電咨詢

400-666-4000

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