設(shè)備型號：FLEE-G1009A
應(yīng)用范圍：可以實現(xiàn)各種尺寸盲孔、異形孔、圓錐孔制備，在先進(jìn)封裝、顯示制造、消費(fèi)電子、生命科學(xué)等領(lǐng)域有巨大的應(yīng)用潛力。
主要特點：
設(shè)備特點：
1、靈活的尺寸兼容性，300mm以下全尺寸兼容
2、采用飛秒激光技術(shù)，高效、高品質(zhì)加工
3、自主研發(fā)的加工和控制系統(tǒng)
4、配備高精度的晶圓自動校正系統(tǒng)
5、 全自動無人值守
6、擁有多項自主知識產(chǎn)權(quán)及核心技術(shù)
7、大族半導(dǎo)體研發(fā)的TGV玻璃通孔設(shè)備，是國內(nèi)研發(fā)最早，至今穩(wěn)定用于TGV量產(chǎn)的設(shè)備。
主要參數(shù):
| 主要參數(shù) | 設(shè)備最大加工尺寸 | 12寸 |
孔位置精度 | 3μm | |
運(yùn)行速度 | ≥800mm/s | |
| 孔真圓度（外孔、內(nèi)孔） | ≥95% (長軸/短軸) | |
孔壁質(zhì)量 | ≤100nm (與材料和刻蝕能力相關(guān)) |
加工效果：
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