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Wafer級TGV設備

設備型號：DSI-G-STC-1001-A

應用范圍：可以實現各種尺寸盲孔、異形孔、圓錐孔制備，在先進封裝、顯示制造、消費電子、生命科學等領域有巨大的應用潛力。




主要特點：

設備特點：

1、靈活的尺寸兼容性，300mm以下全尺寸兼容

2、采用飛秒激光技術，高效、高品質加工

3、自主研發的加工和控制系統

4、配備高精度的晶圓自動校正系統

5、全自動無人值守

6、擁有多項自主知識產權及核心技術




主要參數:


主要參數可加工產品尺寸4inch-12inch

可加工產品厚度

0.1mm~1mm

可加工效率

≥5000個/S

可實現深徑比≥50:1(取決于玻璃材料)

可實現最小孔徑

＜5um(取決于玻璃材料和厚度)

錐度

1°-10°(取決于玻璃材料)

定位精度±5um




加工效果：

    

TGV 效果圖(1).png  TGV 效果圖(2).png

歡迎來電咨詢

400-666-4000

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